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基于双导电网络和多层弯曲结构的高灵敏度宽量程柔性应变传感器研究

发布时间: 所属栏目: 行业动态

摘要

柔性应变传感器是生物医学监测、人机交互设备的核心组件,其性能瓶颈在于同时实现高灵敏度与宽检测范围—— 前者决定微小形变的捕捉能力,后者影响大幅动作的适配性,二者缺一不可。本研究针对这一痛点,设计并制备了 “多层弯曲结构碳纳米管 / 石墨烯双层导电网络(MCGB)应变传感器”:通过超声振动技术让碳纳米管(CNTs)与石墨烯在柔性硅胶基底表面形成均匀致密的双导电网络,再结合熔融沉积成型(FDM)3D 打印牺牲模具,构建具有 “工” 字形连接的多层弯曲基底结构。性能测试表明,该传感器在应变 200%-240% 区间灵敏系数(GF)高达 1021.93,检测范围最高覆盖 240% 应变,检测下限低至 0.3%,响应时间仅 360ms,且在 1500 次循环测试后仍保持稳定。应用层面,它既能精准捕捉喉部发声、笔尖书写等微小动作,也能实时监测手指、膝盖弯曲等大幅人体动作;基于 5 个传感器组装的传感手套,可实现手势识别与不同尺寸物体抓取判断,为可穿戴医疗设备、柔性机器人等领域提供了高性能解决方案。

1 引言

近年来,柔性应变传感器凭借柔韧性好、适配性强的优势,在健康监测(如心率、呼吸监测)、生物医学(如关节活动追踪)、人机交互(如手势控制)等领域快速发展。但实际应用中,传统传感器常面临 “两难困境”:要么灵敏度高但检测范围窄(仅能测小应变,无法应对人体大幅动作),要么检测范围宽但灵敏度低(难以捕捉微小信号),无法满足复杂场景下的多形变检测需求。
为突破这一困境,科研界主要从材料选择结构设计两大方向探索:
材料优化方向:Zheng 等人用 CNTs / 炭黑 / PDMS 制备传感器,虽将检测范围拓展至 300%,但灵敏系数仅 13.1,无法识别微小形变;Yao 等人以 AgNWs/MXene/SEBS 为复合体系,应变 100% 时 GF 提升至 176.25,但检测范围未突破 100%;Zhu 等人的铜 / 石墨烯微裂纹传感器在 92%-110% 应变区间 GF 达 847.87,且能测 0.2% 微小应变,但检测范围仅 110%,无法适配人体大幅动作(如膝盖弯曲应变常超 150%)。
结构设计方向:Wang 等人设计的微孔三层结构纤维传感器,检测范围 120%、GF 300,但制备工艺复杂;Li 等人通过 3D 打印负泊松比结构,将检测范围扩至 300% 以上,但初始应变区间 GF 仅 2.661,灵敏度不足;Shen 等人的防水传感器在 44%-50% 应变区间 GF 达 1814.25,检测下限 0.2%,但检测范围仅 50%,适用场景有限。
综上,现有研究仍未解决 “高灵敏度(GF>200)与宽检测范围(应变 > 100%)兼顾” 的核心问题,且部分方案存在制备流程复杂、成本高的问题。为此,本研究创新结合 “双导电网络材料” 与 “多层弯曲基底结构”:双导电网络(CNTs + 石墨烯)负责提升灵敏度,多层弯曲结构负责拓宽检测范围,最终实现性能突破。

2 实验步骤

2.1 实验材料与设备

实验材料需满足 “柔性基底韧性强、导电材料分散性好” 的要求,具体清单如下:
柔性基底:北京通天华艺有限公司的硅胶(韧性高、固化后弹性好,适配反复拉伸);
导电材料:江苏先丰纳米材料科技有限公司的 CNTs 分散液(型号 XFWDM1333-86-4,一维结构,可构建导电通路)、单层石墨烯粉末(型号 XF001H-7440-44-0,二维结构,可填补 CNTs 间隙,提升导电均匀性);
辅助材料:安谱实验科技股份有限公司的丙酮(用于溶解 3D 打印模具)、无水乙醇(用于稀释导电材料,便于分散);
核心设备:FDM 3D 打印机(打印 ABS 牺牲模具)、超声纳米材料分散仪(型号 DW-SD20-1200H,频率 20kHz、功率 1200W,用于导电材料分散与附着)、真空箱(排除硅胶气泡)、烘箱(干燥传感器)、三轴拉伸台(性能测试)。
所有材料均直接使用,未进行额外纯化,确保实验可重复性。

2.2 柔性基底制备(关键在于 “多层弯曲结构成型”)

基底采用 “3D 打印牺牲模具 + 浇铸固化” 工艺,步骤如下:
模具打印:用 FDM 3D 打印机打印 ABS 材质模具,模具内部设计为 “工” 字形三层连通结构(每层厚度 1mm,总厚度 5mm),确保后续浇铸的硅胶形成多层弯曲形态;
硅胶配制与浇铸:按质量比 1:1 混合硅胶 A、B 组分(比例不当会导致固化后过脆或过软),搅拌均匀后倒入 ABS 模具,随后放入真空箱(真空度 – 0.09MPa)处理 15min,彻底排除气泡(气泡会导致基底拉伸时断裂,影响检测范围);
固化与脱模:擦除模具顶部溢出的硅胶,室温(25℃)下静置固化 4h(固化时间不足会导致硅胶未定型,过长会影响韧性);固化后将模具放入丙酮溶液,磁力搅拌(转速 300r/min)2h,使 ABS 模具完全溶解,得到 “工” 字形多层弯曲硅胶基底;
基底预处理:将脱模后的硅胶基底室温放置 12h,彻底挥发吸附的丙酮(残留丙酮会影响后续导电材料附着)。

2.3 传感器制备(关键在于 “导电网络均匀附着”)

采用 “超声振动辅助沉积” 工艺,确保导电材料均匀覆盖基底表面,步骤如下:
导电悬浮液配制:取 3g CNTs 分散液、0.3g 石墨烯粉末,加入 120mL 无水乙醇(乙醇为挥发性溶剂,后续易去除,不影响性能),放入冰浴环境(超声会产热,冰浴可防止 CNTs 团聚、石墨烯氧化),用超声分散仪处理 20min,得到均匀的 CNTs / 石墨烯悬浮液(超声时间过短会导致分散不均,过长会破坏导电材料结构);
导电网络沉积:将预处理后的硅胶基底完全浸入悬浮液,继续冰浴超声 2h(超声振动使导电材料高速撞击基底表面,形成致密附着层),此时 CNTs(一维)与石墨烯(二维)相互交织,形成双导电网络;
干燥与清洗:将基底从悬浮液中取出,放入 65℃烘箱干燥 1h(温度过高会导致硅胶变形,过低会延长干燥时间),去除乙醇;随后用去离子水冲洗表面,去除未牢固附着的导电材料(未去除会导致测试时电阻波动);最后再次放入烘箱,65℃干燥 30min,确保水分完全挥发,得到 MCGB 传感器成品。
传感器成品尺寸为 35mm(长)×8mm(宽)×5mm(厚),弯曲 “工” 字形结构的宽度为 800μm,与人体手指宽度适配,便于后续可穿戴测试。
图 1 MCGB 传感器的制备流程:(I)3D 打印模具;(II)浇铸;(III)丙酮溶解 ABS 模具;(IV)超声振荡;(V)干燥。

3 结果与讨论

3.1 传感器表面形貌与响应机制(解释 “为何能兼顾灵敏度与检测范围”)

通过扫描电子显微镜(SEM)与元素 mapping 分析,验证结构与材料设计的合理性:
整体形貌:图 2a 显示,传感器基底为 “工” 字形三层弯曲结构,这种结构的优势在于:拉伸时每层可独立形变,避免局部应力集中,从而拓宽检测范围(最高 240% 应变);同时多孔结构增大了表面积,使导电材料附着量提升 30%,为高灵敏度奠定基础;
导电网络形态:图 2c、d(不同放大倍数 SEM 图)显示,CNTs 与石墨烯在基底表面形成致密导电层 ——CNTs 呈纤维状交错分布,石墨烯片层覆盖在 CNTs 表面,填补了 CNTs 之间的间隙,形成 “无明显断点” 的导电网络;这种结构的好处是:微小应变下,局部导电通路断裂即可引起电阻变化(高灵敏度),大应变下,多层导电网络可逐步断裂,避免一次性失效(宽检测范围);
拉伸后变化:图 2e 显示,当传感器拉伸至 200% 应变时,导电层出现微小裂纹(而非完全断裂),此时电阻显著升高(灵敏度达峰值),但仍保持部分导电通路,说明传感器在高应变下仍能工作;
元素分布:图 2f-h(Si、C、O 元素 mapping 图)显示,碳元素(导电材料主要成分)在基底表面均匀分布(无明显聚集区),硅元素(硅胶基底成分)分布均匀,证明超声振动工艺有效实现了导电材料的均匀附着,避免因局部导电不均导致的性能波动。
响应机制总结:传感器通过 “导电网络裂纹变化” 实现应变检测(图 2b):
低应变(0%-100%):导电网络仅出现微小裂纹,电阻小幅上升(GF 较低,约 100-300);
中应变(100%-200%):裂纹数量增加,更多导电通路断裂,电阻快速上升(GF 增至 300-800);
高应变(200%-240%):裂纹大面积扩展,仅剩少量导电通路,电阻急剧上升(GF 达 1021.93);
卸载阶段:基底弹性恢复,裂纹闭合,导电通路重新连接,电阻回落至初始值,实现循环使用。
图 2 MCGB 传感器的特性:(a)传感器形貌;(b)传感器响应机制;(c-d)不同放大倍数下碳纳米管 / 石墨烯导电层的扫描电镜图;(e)拉伸状态下碳纳米管 / 石墨烯导电层的扫描电镜图;(f)硅元素 mapping 图;(g)碳元素 mapping 图;(h)氧元素 mapping 图。

3.2 传感器性能测试(核心指标:灵敏度、检测范围、稳定性)

性能测试在室温(25℃)、湿度 50% RH 环境下进行,采用三轴拉伸台施加应变,数据采集系统记录电阻变化,关键结果如下:

3.2.1 灵敏度与检测范围(核心突破点)

灵敏度梯度变化:图 3a 显示,传感器灵敏度随应变呈 “阶梯式上升”—— 应变 0%-100% 时,GF 约 100-300;100%-200% 时,GF 快速升至 300-800;200%-240% 时,GF 急剧升至 1021.93,且在 240% 应变时仍未出现信号中断(检测范围上限),远超多数同类研究(多数方案检测范围 < 150%);
导电材料比例优化:为确定 CNTs 与石墨烯的最佳比例,测试了质量比 1:1、1:2、1:3 的三种传感器(补充图 S2):
比例 1:1:CNTs(一维)与石墨烯(二维)交织紧密,导电通路最均匀,灵敏度稳定性最佳(多次测试 GF 波动 < 5%);
比例 1:2/1:3:石墨烯占比过高,易团聚形成 “绝缘区”,导致灵敏度波动增大(波动 > 10%);最终选择 1:1 作为最佳比例。

3.2.2 基底结构参数优化(层数与弯曲角度)

基底结构直接影响检测范围,需优化 “层数” 与 “弯曲角度” 两个参数:
层数优化:对比三层、五层、七层结构传感器(图 3b):
三层结构:应变超过 80% 时基底断裂,检测范围仅 0%-80%,相对电阻变化 54(灵敏度低);
五层结构(MCGB):应变 240% 时仍保持完整,检测范围 0%-240%,相对电阻变化 514(灵敏度高);
七层结构:检测范围 0%-243%(略宽于五层),但层间应力易集中,相对电阻变化仅 132(灵敏度低);结论:五层结构兼顾 “宽范围” 与 “高灵敏度”,为最佳选择。
弯曲角度优化:对比基底弯曲角度 30°、60°、90° 的传感器(图 3c):
30°:弯曲程度小,拉伸时易断裂,检测范围 170%,相对电阻变化 178;
60°:弯曲程度适中,检测范围 180%,相对电阻变化 229;
90°:弯曲程度最大,拉伸时应力分散均匀,检测范围 240%,相对电阻变化 457;结论:90° 弯曲角度为最佳,可最大化检测范围。

3.2.3 动态响应与稳定性(决定实际应用寿命)

响应时间:图 3i 显示,传感器加载时间(从初始电阻到最大电阻)为 360ms,卸载时间(从最大电阻到初始电阻)为 400ms,远快于人体动作响应时间(如手指弯曲响应约 500ms),可实现实时监测;
循环稳定性:在 25% 应变下进行 1500 次循环拉伸测试(图 3h):
前 100 次循环:因基底与导电层磨合,相对电阻变化略有下降(从初始 120 降至 105);
100-1500 次循环:相对电阻变化稳定在 105±3,无明显衰减,证明传感器耐用性优异(可满足日常穿戴反复使用需求);
滞后现象:图 3j 显示,200% 应变下 4 次循环的滞后曲线几乎重合,滞后率 < 8%(滞后率越低,数据准确性越高),原因是多层弯曲结构可分散应力,减少导电层与基底的相对滑动。
此外,传感器还能检测 0.3% 的微小应变(图 3k),可捕捉喉部发声、呼吸等微弱动作,进一步拓宽应用场景。
图 3 MCGB 传感器的传感性能:(a)不同应变下传感器的灵敏系数(GF)曲线;(b)不同层数传感器的灵敏度对比;(c)不同弯曲角度传感器的灵敏度对比;(d)不同结构传感器的灵敏系数曲线;(e-f)不同应变(10%–200%)下循环拉伸实验中传感器的实时相对电阻变化;(g)不同速度下传感器的动态响应;(h)传感器的稳定性与耐用性(25% 应变,1500 次循环);(i)稳定性测试中传感器的加载 / 卸载响应时间;(j)MCGB 传感器在 200% 应变下的滞后曲线;(k)0.3% 应变下传感器加载 / 卸载的相对电阻变化。

3.3 多形变检测能力(验证 “多场景适配性”)

传感器需能识别拉伸、弯曲、扭转三种常见形变,测试方案与结果如下:
拉伸状态下的弯曲检测:搭建 “预拉伸 + 振动加载” 测试系统(图 4a),将传感器分别预拉伸至 30%、60%、120%、180%、200%,再通过振动发生器施加微小弯曲应变:
预拉伸 30%:相对电阻变化 0.04(灵敏度低,因导电网络未充分形变);
预拉伸 200%:相对电阻变化 3(灵敏度高,因导电网络接近临界断裂状态,微小弯曲即可引发显著电阻变化);结果证明,传感器在高拉伸状态下仍能精准捕捉弯曲形变,适配人体 “拉伸 + 弯曲” 复合动作(如手臂伸展时手指弯曲)。
扭转检测:在未拉伸状态下,对传感器施加 90°、180°、360° 扭转(图 4g-i):
扭转角度越大,相对电阻变化越大(90° 时变化 50,360° 时变化 200);
每次扭转 – 恢复循环的曲线重合度高,无明显滞后,证明扭转检测准确性优异;
形变类型识别:通过电阻曲线波形差异,可区分三种形变(补充图 S5):
拉伸:电阻曲线对称上升 / 下降(形变均匀);
弯曲:电阻曲线呈非对称波动(单侧应力大);
扭转:电阻曲线呈周期性振荡(每扭转 180° 出现一个波峰);这一特性为 “多形变区分监测” 提供可能,如同时监测手指的弯曲与扭转动作。
图 4 MCGB 传感器的多形变检测:(a)拉伸状态下持续响应平台示意图;(b)30% 应变拉伸状态下对弯曲应变的响应;(c)60% 应变拉伸状态下对弯曲应变的响应;(d)120% 应变拉伸状态下对弯曲应变的响应;(e)180% 应变拉伸状态下对弯曲应变的响应;(f)200% 应变拉伸状态下对弯曲应变的响应;(g-h)未拉伸状态下传感器在 90°、180°、360° 扭转角度下的响应曲线。

3.4 环境适应性测试(决定实际使用场景)

传感器需适应人体温湿度变化(温度 15-40℃,湿度 30%-80% RH),测试结果如下:
温度影响(17.5℃-46.9℃)
低应变(30%):不同温度下电阻变化曲线完全重合(图 3b、c),因应变引起的电阻变化(约 50)远大于温度引起的电阻波动(<2),温度影响可忽略;
高应变(150%):电阻变化曲线仍基本重合(图 3d、e),证明温度稳定性优异,可在夏季高温、冬季低温环境下使用;
湿度影响(39%-75% RH)
低应变(30%):导电网络结构完整,湿度对电阻影响小(变化 < 3),曲线稳定(图 3f、g);
高应变(150%):导电网络出现裂纹,空气中水分易进入裂纹,导致电阻降低(湿度 75% RH 时电阻比 39% RH 时低 15%),但电阻变化趋势仍稳定,可通过算法校准消除湿度影响;综上,传感器在人体常见温湿度范围内性能稳定,无需额外防护。
图 5 MCGB 传感器对环境变化的响应:(a)自制环境测试平台照片;(b)30% 应变下温度从 17.5℃升至 46.9℃的响应曲线;(c)不同温度下施加 30% 应变的响应曲线;(d)150% 应变下温度从 17.5℃升至 46.9℃的响应曲线;(e)不同温度下施加 150% 应变的响应曲线;(f)30% 应变下湿度从 39% RH 升至 75% RH 的响应曲线;(g)不同湿度下施加 30% 应变的响应曲线;(h)150% 应变下湿度从 39% RH 升至 75% RH 的响应曲线;(i)不同湿度下施加 150% 应变的响应曲线。

3.5 实际应用测试(验证 “落地价值”)

3.5.1 微小动作检测(喉部发声、笔尖书写)

喉部发声识别:将传感器贴附于喉部,测试不同语音的电阻响应(图 7a-c):
发声 “Hello” 时,因 “h”“e”“l”“o” 发音时喉部肌肉振动幅度不同,电阻曲线呈现 3 个明显波峰(对应不同音节);
发声 “I’m fine”“How are you” 时,曲线波峰数量与间隔差异显著,且 3 次重复测试曲线重合度超 90%,证明传感器可通过电阻信号区分不同语音,为 “无声语音交互”(如失语者辅助设备)提供可能;
笔尖书写识别:将传感器固定于笔杆,测试书写字母 “A”“B”“C”“D” 的电阻变化(图 6a-e):
书写 “A”(三笔)时,曲线出现 3 次独立波动,分别对应 “右斜”“左斜”“横” 笔画;
书写 “C”(一笔)时,曲线呈连续弧形波动,无明显断点;
不同字母的曲线特征差异显著,且重复书写时曲线一致性高,可用于 “笔迹识别” 或 “书写动作分析”(如儿童书写姿势矫正)。
图 6 笔尖书写识别:(a)书写示意图;(b)书写字母 “A” 时的实时变化曲线;(c)书写字母 “B” 时的实时变化曲线;(d)书写字母 “C” 时的实时变化曲线;(e)书写字母 “D” 时的实时变化曲线。

3.5.2 人体大幅动作检测(关节活动、呼吸)

将传感器贴附于人体关键部位,测试不同动作的响应:
手指弯曲:贴附于食指关节,弯曲 30°、60°、90° 时(图 7d),电阻变化量分别为 20、50、90,呈线性增长,可精准识别手指弯曲角度,适配 “手势控制” 场景(如 VR 设备交互);
四肢关节活动:贴附于手腕、肘部、膝盖、颈部时(图 7e-h):
手腕屈伸时,电阻曲线出现 “上升 – 平稳 – 下降” 趋势(对应伸展 – 保持 – 弯曲);
膝盖弯曲 90°(如坐下动作)时,电阻变化量达 150,且动作重复时曲线无偏移,可用于 “运动姿态监测”(如运动员训练动作矫正);
呼吸监测:将传感器环绕胸部,正常呼吸时(图 7i),因胸腔起伏导致传感器轻微拉伸,电阻曲线呈现周期性波动(吸气时电阻上升,呼气时下降),波动频率与呼吸频率(约 16 次 / 分钟)完全一致,可用于 “睡眠呼吸监测”(如打鼾或呼吸暂停预警)。
图 7 人体动作检测:(a-c)不同含义英语口语发声的实时变化曲线;(d)手指不同角度弯曲;(e)手腕屈伸;(f)肘部固定角度弯曲;(g)腿部固定角度弯曲;(h)颈部固定角度弯曲;(i)呼吸。

3.5.3 传感手套与柔性机器人应用(落地场景验证)

为进一步验证可穿戴实用性,设计两类应用原型:
传感手套:将 5 个 MCGB 传感器分别贴附于手套的拇指、食指、中指、无名指、小指背面(图 8a),测试手势识别与物体抓取:
手势识别:做出 “握拳”“伸指”“OK” 等手势时,对应手指的传感器电阻变化不同(如 “OK” 手势仅拇指与食指传感器有响应),系统可通过 5 路电阻信号组合,准确识别 8 种常见手势,识别准确率超 95%;
物体抓取:抓取苹果(直径约 8cm)、梨(直径约 6cm)、橙子(直径约 7cm)时(图 8c),手指弯曲程度不同导致传感器电阻变化量差异显著(苹果对应电阻变化 120,梨对应 80,橙子对应 100),可通过电阻信号反推物体尺寸,适配 “智能分拣” 场景;
柔性机器人:将传感器贴附于柔性机器人手部与手臂(图 8d-e):
抓取物体时,传感器可实时反馈 “抓取 – 保持 – 释放” 动作(抓取时电阻上升,释放时下降),且不同尺寸物体对应的电阻变化曲线差异明显,实现 “抓取力与物体尺寸联动控制”;
举升砝码(50g、100g、200g)时,砝码重量越大,机器人手臂形变越显著,传感器电阻变化量越大(200g 砝码对应电阻变化 180),可用于 “负载监测”,避免机器人过载损坏。
图 8 MCGB 传感器的手势识别测试:(a)5 个传感器固定于手指背面的识别手套;(b)不同手势识别;(c)抓取不同物体;(d)柔性机器人姿势识别;(e)抓取不同尺寸砝码。

4 结论与展望

4.1 核心结论

结构与材料创新:通过 “多层弯曲硅胶基底 + CNTs / 石墨烯双导电网络” 的组合设计,成功解决 “高灵敏度与宽检测范围难以兼顾” 的问题 —— 多层弯曲结构分散拉伸应力,实现 240% 宽应变检测;双导电网络通过裂纹变化放大电阻信号,在 200%-240% 应变区间达成 1021.93 的高 GF 值;
性能优势显著:传感器同时具备低检测下限(0.3%)、快响应时间(360ms)、高稳定性(1500 次循环无衰减)与强环境适应性(17.5℃-46.9℃、39%-75% RH 下性能稳定),综合性能优于多数同类研究;
应用场景广泛:可覆盖微小动作(发声、书写)、大幅动作(关节活动)、可穿戴设备(传感手套)、柔性机器人(抓取监测)四大类场景,为医疗健康、人机交互、工业分拣等领域提供高性能传感方案。

4.2 未来展望

当前研究仍存在两处可优化方向:一是高湿度(>75% RH)环境下,高应变状态传感器电阻易受水分影响,后续可通过涂覆防水膜(如聚四氟乙烯)提升防水性;二是传感器当前需外接数据采集设备,未来可集成无线传输模块(如蓝牙芯片),实现 “便携式监测”。